方案Program
- 解決方案
- 高得環(huán)?？萍紴槟峁┧幚眍I(lǐng)域最專業(yè)的整體解決方案
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- 服務(wù)范圍
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- 案例工程
- 工業(yè)純水,超純水系統(tǒng)
- Industrial water system
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- 電子行業(yè)解決方案
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【概述】半導(dǎo)體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業(yè)、大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路需用大量的高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高，線寬越窄，對(duì)水質(zhì)的要求也越高。（一般要求超純水電阻率18.2MΩ.cm(25℃)、TOC＜5ppb、細(xì)菌內(nèi)毒素＜0.03EU/ml）這對(duì)電子工業(yè)純水、超純水處理系統(tǒng)工藝及其產(chǎn)品的易用性、自動(dòng)化程度、生產(chǎn)的連續(xù)性、可持續(xù)性等提出了更加嚴(yán)格的要求。
【國家標(biāo)準(zhǔn)】（GB/T11446.1-1997）
目前我國電子工業(yè)部把電子級(jí)水質(zhì)技術(shù)分為五個(gè)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以區(qū)分不同水質(zhì)。
中國國家電子級(jí)超純水規(guī)格 GB/T11446.1-1997
注*（95％時(shí)間不低于17），**（95％ 時(shí)間不低于13）電阻率
25℃
MΩ*cm硅
≤μg/L銅
≤μg/L鋅
≤μg/L鎳
≤μg/L鈉
≤μg/L鉀
≤μg/L氯
≤μg/L>1μm顆粒
≤個(gè)/ml細(xì)菌
≤個(gè)/ml硝酸根
≤g/L磷酸根
≤μg/L硫酸根
≤μg/LTOC
≤μg/LEW-I
≥18*
2
0.2
0.2
0.1
0.5
0.5
1
0.1
0.01
1
1
1
20
EW-II
≥15 **
10
0
0
1
2
2
1
5
0.1
1
1
1
100
